基于不同量程的MEMS加速度传感器综合测试系统研究
摘 要：针对MEMS加速度传感器测试方法不统一，测试要求多样化的问题，对加速度传感器按照量程进行细化，从测试方法和测试系统入手，研发出一套多量程的MEMS加速度计静态和动态及其温度特性的综合测试系统，搭建了一个多形态MEMS加速度传感器的统一测试平台，适应不同类型加速度传感器的测试需求，从而提升测试效率，降低测试成本，缩短研发测试周期，有助于MEMS传感器产业的迅速发展。
关键词：MEMS加速度传感器；测试方法；测试系统；测试平台
中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：2095-1302（2017）10-00-03
0 引 言
随着物联网技术的发展，加速度传感器被广泛应用于汽车电子、航空航天及工农业等领域，应用需求急剧增加。而随着加速度传感器行业的发展，对其精度的要求也越来越高，但大多数企业测试方法不统一，测试要求多样化，大大影响了传感器的测试效率，严重阻碍了传感器的产业化进程。
此外，MEMS加速度传感器受其原理和工艺限制，其性能指标都会或多或少的受到外界环境变化的影响，特别是外界温度的变化。因此传感器都要经过高低温测试，一方面确认传感器能够正常工作的温度范围，另一方面能够根据各温度点的实际输出量与常温输出量进行比较，通过添加算法来对其进行补偿，消除温度带来的测量偏差。本文基于此研发了一套多量程的MEMS加速度计静态和动态及其温度特性的综合测试系统。
1 测试系统设计
系统由多频率范围的振动装置、高精度的数据采集系统、集成数据与信号处理关键算法的综合分析软件以及温度试验箱组成，测试系统结构示意图如图1所示。
振动装置包括静态测试模块的高精度转台、离心机，中频测试模块的中频振动台、标准加速度计套组及冲击测试模块的Hopkinson杆、激光干涉仪。
高精度的数据采集系统主要实现三大模塊的控制与数据采集。静态测试模块和冲击测试模块由凌华（ADLINK PCI-9816H）作为控制器，中频测试模块由可同时实现采集8路数据的爱盟科技VibStar作为控制器。
综合分析软件实现对控制器采集数据的分析处理及显示，并可下达指令给控制器以网络通信模式实现对温度试验箱的实时反馈控制。
1.1 静态测试模块
此模块用以实现MEMS加速度计的静态测试[1]，由高精度转台、离心机、标准参考加速度计套组、控制器、数据处理模块及温度试验箱组成。
1.1.1 重力场法
由于加速度传感器通频带的下限为0 Hz，采...
|
== 试读已结束，如需继续阅读敬请充值会员 ==
|
|
本站文章均为原创投稿，仅供下载参考，付费用户可查看完整且有格式内容！
(费用标准：38元/2月，98元/2年，微信支付秒开通！) |
| 升级为会员即可查阅全文 。如需要查阅全文，请 免费注册 或 登录会员 |
|
