基于VEE的MEMS滤波器在片测试系统
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摘要：MEMS滤波器具有小型化、低插损、高带外抑制等优点，是微波通信系统研究的重要方向之一。随着MEMS滤波器需求量的不断增加，传统的手动测试筛选方式已经不能满足多通道组件装配的需求。本文采用 Agilent VEE作为软件开发平台，设计了一种 MEMS滤波器自动测试系统。该系统实现了滤波器在片微波测试和数据自动存储，能够满足大规模测试的要求。
关键词：Agilent VEE；MEMS滤波器；在片测试系统
中图分类号：TP273 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2017）05-0124-02
MEMS Filter On Wafer Test System Based on VEE
Ma Jie， Sun Tianling， Yang Zhihu， Zhang Lijiang， Cui Yuxing
（The 13th Institute， CETC， Shijiazhuang 050051， China）
Abstract：The MEMS filter has good quality in miniaturization， low insertion loss and high band rejection， which is one of the important directions in the research of microwave communication system. As the increasing demand of MEMS filter， the traditional manual testing already can"t meet the requirements of multi-channel module assembly. This letter justly introduces a way to realize MEMS Filter automatic test system based on Agilent VEE software platform. This system solves the on wafer microwave test， automatic data storage， and has a good prospect in large-scale MEMS filter test.
Key Words：Agilent VEE； MEMS filter； on wafer test system
濾波器在信号传输链路中起着频率选择作用，是微波通信系统中必不可少的组成部分。随着单片微波集成电路（MMIC）的发展，传统滤波器已经无法满足射频微波组件小型化的要求。MEMS滤波器不仅具有低的插入损耗、高的Q值和良好的带外抑制，而且在体积和可集成性上具有明显的优势，是微波选频元件的热门研究方向[1-3]。
MEMS滤波器在使用前需要进行测试筛选，判断其指标是否满足要求。传统筛选方法采...
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